减少和控制工艺系统热变形的主要途径有：
a.减少发热，隔离热源 合理选择切削用量和刀具几何角度或粗、精加工分开进行以减少切削热；从结构和润滑两方面采取措施改善摩擦特性以减少切削热；尽可能将机床中能够分离的热源部件，如电动机、变速箱、液压系统和冷却系统等从主机中分离出去；用隔热材料将发热部件与机床大件（如床身、立柱等）隔离开来。
b.冷却、通风、散热 采用喷雾或大流量冷却是减少工件和刀具变形的有力措施。大型数控机床和加工中心普遍采用冷冻机对润滑油和切削液强制冷却，以提高冷却效果，此外还可加强通风散热，在热源处加风扇、散热片和通风窗口等。
c.均衡温度场 将热量有意识地从高温区导向低温区以补偿温度场的不对称性。
d.加速热平衡 热平衡后，变形趋于稳定，对加工精度影响小，精密零件应待热平衡后再进行加工，且应连续加工完毕。但大型机床热平衡时间很长，可采用以下两种方法加速其热平衡；一是在加工前高速空转，使机床在较短时间达到热平衡；二是在机床适当部位设置“控制热源”人为地给机床加热，使其较快地达到热平衡状态。
e.控制环境温度 根据一昼夜气温的变化规律，晚上10小时至翌晨6时温度变化最小，可将精度要求较高的零件放在这段时间内进行加工与测量。精密机床应安放在恒温车间中使用。
